Фоторезистке сереп
Фоторезист, ошондой эле фоторезист деп да аталат, ультрафиолет нурларына, электрондук нурларга, иондук нурларга, рентген нурларына же башка нурланууга дуушар болгондо эригичтиги өзгөргөн жука пленкалуу материалды билдирет.
Ал чайырдан, фотоинициатордон, эриткичтен, мономерден жана башка кошулмалардан турат (1-таблицаны караңыз). Фоторезист чайыры жана фотоинициатор фоторезисттин иштешине таасир этүүчү эң маанилүү компоненттер болуп саналат. Ал фотолитография процессинде коррозияга каршы каптоо катары колдонулат.
Жарым өткөргүч беттерди иштетүүдө, тийиштүү түрдө тандалма фоторезистти колдонуу бетте керектүү сүрөттү түзө алат.
1-таблица.
| Фоторезисттин ингредиенттери | Аткаруу |
| Эриткич | Ал фоторезистти суюк жана учуучу кылат жана фоторезисттин химиялык касиеттерине дээрлик эч кандай таасир этпейт. |
| Фотоинициатор | Ал ошондой эле фотосенсибилизатор же фотокатуу агент катары белгилүү, фоторезист материалындагы фотосезгич компонент. Бул белгилүү бир толкун узундугундагы ультрафиолет же көрүнгөн жарык энергиясын сиңиргенден кийин мономерлерде эркин радикалдарга же катиондорго ажырап, химиялык кайчылаш байланыш реакцияларын баштай турган кошулманын бир түрү. |
| Чайыр | Ал инерттүү полимерлер жана фоторезисттеги ар кандай материалдарды бириктирип кармап туруу үчүн байланыштыруучу заттар катары кызмат кылат, бул фоторезистке анын механикалык жана химиялык касиеттерин берет. |
| Мономер | Ал ошондой эле активдүү эриткичтер катары белгилүү, полимерленүүчү функционалдык топторду камтыган кичинекей молекулалар жана жогорку молекулярдык салмактагы чайырларды түзүү үчүн полимерленүү реакцияларына катыша турган төмөнкү молекулярдык салмактагы кошулмалар. |
| Кошумча | Ал фоторезисттердин белгилүү бир химиялык касиеттерин көзөмөлдөө үчүн колдонулат. |
Фоторезисттер пайда болгон сүрөткө жараша эки негизги категорияга бөлүнөт: оң жана терс. Фоторезист процессинде, экспозициядан жана иштелип чыккандан кийин, каптаманын ачык бөлүктөрү эрип, экспозицияланбаган бөлүктөрү калат. Бул каптама оң фоторезист деп эсептелет. Эгерде экспозицияланбаган бөлүктөрү эрип жатканда ачык бөлүктөрү калса, каптама терс фоторезист деп эсептелет. Экспозицияланган жарык булагына жана нурлануу булагына жараша, фоторезисттер андан ары ультрафиолет (анын ичинде оң жана терс ультрафиолет фоторезисттери), терең ультрафиолет (DUV) фоторезисттери, рентген фоторезисттери, электрондук нур фоторезисттери жана иондук нур фоторезисттери болуп бөлүнөт.
Фоторезист негизинен дисплей панелдеринде, интегралдык микросхемаларда жана дискреттик жарым өткөргүч түзүлүштөрдө майда бүртүкчөлүү үлгүлөрдү иштетүүдө колдонулат. Фоторезисттин өндүрүш технологиясы татаал, анын түрлөрү жана мүнөздөмөлөрү ар түрдүү. Электроника өнөр жайынын интегралдык микросхемаларды өндүрүүсү колдонулган фоторезистке катуу талаптарды коет.
Фотокатуулануучу чайырларды өндүрүү жана иштеп чыгуу боюнча 20 жылдык тажрыйбасы бар өндүрүүчү Ever Ray компаниясынын жылдык өндүрүш кубаттуулугу 20 000 тонна, ар тараптуу продукция линиясы жана продукцияларды ыңгайлаштыруу мүмкүнчүлүгү бар. Фоторезистте Ever Ray компаниясынын негизги компоненти катары 17501 чайыры бар.
